隨著醫療器械的發展,使用導管進行高級醫療的治療也隨之發展。與此同時,導管用超小型、高精度熱敏電阻的需求增加,但作為陶瓷半導體的熱敏電阻難以通過傳統制造方法同時實現小型化和高精度。
為了解決這個難題,SEMITEC充分利用了世界上第一個成功量產的獨特的 薄膜熱敏電阻技術,開發了超小型和高精度的“Fμ系列”薄膜熱敏電阻。由此實現了直徑為0.5 mm或更小的熱敏電阻溫度傳感器,可用于導管等先進醫療應用,并用于熱稀釋導管,其通過溫度變化測量心輸出量。
此外,通過將薄膜熱敏電阻的制造工藝擴展到 MEMS 技術,并將其與在導管用熱敏電阻中培養的微細加工技術融合,不僅溫度傳感器,我們還挑戰了先進醫療設備用傳感器的開發,我們正在開發超小型壓力傳感器“Pμ傳感器”和3D接觸力傳感器“CF傳感器”并努力實現產品化。