隨著醫(yī)療器械的發(fā)展，使用導管進行高級醫(yī)療的治療也隨之發(fā)展。與此同時，導管用超小型、高精度熱敏電阻的需求增加，但作為陶瓷半導體的熱敏電阻難以通過傳統(tǒng)制造方法同時實現(xiàn)小型化和高精度。
為了解決這個難題，SEMITEC充分利用了世界上第一個成功量產(chǎn)的獨特的 薄膜熱敏電阻技術(shù)，開發(fā)了超小型和高精度的“Fμ系列”薄膜熱敏電阻。由此實現(xiàn)了直徑為0.5 mm或更小的熱敏電阻溫度傳感器，可用于導管等先進醫(yī)療應(yīng)用，并用于熱稀釋導管，其通過溫度變化測量心輸出量。
此外，通過將薄膜熱敏電阻的制造工藝擴展到 MEMS 技術(shù)，并將其與在導管用熱敏電阻中培養(yǎng)的微細加工技術(shù)融合，不僅溫度傳感器，我們還挑戰(zhàn)了先進醫(yī)療設(shè)備用傳感器的開發(fā)，我們正在開發(fā)超小型壓力傳感器“Pμ傳感器”和3D接觸力傳感器“CF傳感器”并努力實現(xiàn)產(chǎn)品化。
