隨著醫(yī)療器械的發(fā)展，使用導(dǎo)管進(jìn)行高級(jí)醫(yī)療的治療也隨之發(fā)展。與此同時(shí)，導(dǎo)管用超小型、高精度熱敏電阻的需求增加，但作為陶瓷半導(dǎo)體的熱敏電阻難以通過(guò)傳統(tǒng)制造方法同時(shí)實(shí)現(xiàn)小型化和高精度。
為了解決這個(gè)難題，SEMITEC充分利用了世界上第一個(gè)成功量產(chǎn)的獨(dú)特的 薄膜熱敏電阻技術(shù)，開(kāi)發(fā)了超小型和高精度的“Fμ系列”薄膜熱敏電阻。由此實(shí)現(xiàn)了直徑為0.5 mm或更小的熱敏電阻溫度傳感器，可用于導(dǎo)管等先進(jìn)醫(yī)療應(yīng)用，并用于熱稀釋導(dǎo)管，其通過(guò)溫度變化測(cè)量心輸出量。
此外，通過(guò)將薄膜熱敏電阻的制造工藝擴(kuò)展到 MEMS 技術(shù)，并將其與在導(dǎo)管用熱敏電阻中培養(yǎng)的微細(xì)加工技術(shù)融合，不僅溫度傳感器，我們還挑戰(zhàn)了先進(jìn)醫(yī)療設(shè)備用傳感器的開(kāi)發(fā)，我們正在開(kāi)發(fā)超小型壓力傳感器“Pμ傳感器”和3D接觸力傳感器“CF傳感器”并努力實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品化。
